电子显微镜以电子束来代替可见光束，分辨率没可见光谱之内的限制，分辨率可达原子直径的两倍。放大率是200～200 000倍，有两类1发射型用于研究电子放射现象。2电磁、静电扫描型用以增加普通光学显微镜的应用范围。
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